Loading...

반도체 설비 자동제어

TGMS

사업분야 소개

TGMS란 Toxic Gas Monitoring System의 약자로 반도체 생산라인에 설치되어있는 Toxic(유독성) 가스 감지 센서들의 종합 모니터링 시스템을 의미 합니다.

이삭엔지니어링(주)은 현장에 설치되어있는 수천대의 가스 감지기와의 인터페이스(Interface)를 통하여 실시간으로 유독성 가스 발생치 감시 및 알람(Alarm), 트렌드(Trend)를 통한 유독가스로부터의 사전 예방과 알람에 의한 비상 차단 회로(Shutdown Logic)및 통합 데이터베이스와의 연계를 통한 전반적인 유독가스 발생감시의 통합 관리 시스템을 구축합니다.

TGMS(Toxic Gas Monitoring System)
PROJECT Client Location Year of Completion
SK하이닉스 이천 M10 TGMS SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2014
SK하이닉스 이천 M14 PHASE-1 TGMS SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2015
SK하이닉스 우시 TGMS SK하이닉스 SK하이닉스 우시, 중국 2016
SK하이닉스 이천 M14 PHASE-2 TGMS SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2017(진행중)