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반도체 설비 자동제어

PGMS

사업분야 소개

PGMS란 Process Gas Monitoring System의 약자로 반도체 생산라인으로 공급되는 Gas 장비들의 종합 모니터링 시스템을 의미 합니다.

이삭엔지니어링(주)은 현장에 설치되어있는 수백, 수천대의 각각의 공급장비와의 인터페이스(Interface)를 통하여 가스 종류별 공급용 밸브(Valve)의 개폐 상태, 실시간 압력/온도등의 감시 및 알람(Alarm), 트렌드(Trend)를 통한 이상 발생 유무 확인과 공급량의 추이를 통한 비상 차단 회로(Shutdown Logic)및 통합 데이터베이스와의 연계를 통한 전반적인 가스공급장치의 실적 관리등을 구축합니다.

PGMS(Process Gas Monitoring System)
PROJECT Client Location Year of Completion
SK하이닉스 이천 M10 PGMS SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2014
SK하이닉스 이천 M14 PHASE-1 PGMS SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2015
SK하이닉스 우시 PGMS SK하이닉스 SK하이닉스 우시, 중국 2016
SK하이닉스 이천 M14 PHASE-2 PGMS SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2017