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반도체 설비 자동제어

CMS

사업분야 소개

CMS란 Chemical Monitoring System의 약자로 반도체 제조현장에 설치되어있는 화학약품 중앙공급장치(CCSS : Central Chemical Supply System)의 종합 모니터링 시스템을 의미 합니다.

이삭엔지니어링(주)은 현장에 CCSS 장비와의 인터페이스(Interface)를 통하여 실시간으로 약품공급을 위한 펌프(Pump), 밸브(Valve), 교반기(Agitator)의 동작상태 및 약품탱크의 레벨( Level), 압력, 각종 아나로그(Analog) 데이터의 수치를 감시하며 알람(Alarm), 트렌드(Trend)를 통한 약품 사용량 및 실적 관리를 기록하며 통합 데이터베이스와의 연계를 통한 통합 관리 시스템을 구축합니다.

CMS(CCSS Monitoring System)
PROJECT Client Location Year of Completion
SK하이닉스 이천 M14 PHASE-1 CCSS SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2015
SK하이닉스 M10C CCSS 공급배관 AUTO SHUTDOWN 공사 SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2016(진행중)
SK하이닉스 이천 M10 CCSS Migration SK하이닉스 SK하이닉스 이천공장 2017(진행중)